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P18系列是基于壓電驅(qū)動(dòng)的納米定位平臺(tái)，它的特點(diǎn)是體積緊湊、外形超薄，對(duì)于X向200微米運(yùn)動(dòng)版本的尺寸僅為100 x 100 x 15mm，X向zui大行程可達(dá)1.1mm，對(duì)應(yīng)外形尺寸為100 x 100 x 44mm。中心具有直徑35mm的通孔，非常適于顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位。

P18壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部由高性能壓電疊堆陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有響應(yīng)速度快、分辨率高、承載力大等特點(diǎn)，zui大承載達(dá)3.5kg，空載諧振頻率達(dá)600Hz，配套芯明天大功率控制器響應(yīng)時(shí)間zui高可達(dá)5ms，是精密加工、半導(dǎo)體制造、掃描顯微等應(yīng)用的理想選擇，也適用于一至三維的精密掃描定位應(yīng)用。

P18系列產(chǎn)品特點(diǎn)

◎ X、XY、XYZ多種運(yùn)動(dòng)方向可選；

◎ 體積緊湊：長(zhǎng)100×寬100mm；

◎ 多種標(biāo)稱行程可選：

    280μm、370(或±185)μm、740μm、1110μm；

◎ 中心通孔尺寸：Ø35mm；

◎ 納米級(jí)定位精度；

◎ 高性能壓電促動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，使用壽命長(zhǎng)；

頻率負(fù)載曲線及優(yōu)異的導(dǎo)向設(shè)計(jì)

P18頻率負(fù)載曲線示意圖：

優(yōu)異的導(dǎo)向設(shè)計(jì)：

通過(guò)有限元分析的撓曲鉸鏈機(jī)構(gòu)用于緊湊的壓電平臺(tái)。因其柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)為*自由、無(wú)摩擦的，無(wú)論多么微小的距離，撓曲鉸鏈都能夠達(dá)到*的運(yùn)動(dòng)精度。同時(shí)，也將運(yùn)動(dòng)方向的剛度進(jìn)行了優(yōu)化。

伺服控制定位，納米級(jí)分辨率

高分辨率、高帶寬的應(yīng)變傳感器（SGS）裝配于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的zui恰當(dāng)?shù)奈恢茫靡灾苯訙y(cè)量平臺(tái)移動(dòng)部件的位移。SGS傳感器確保了zui適宜的定位穩(wěn)定性，精度在納米范圍，且響應(yīng)速度快。

開環(huán)版本對(duì)于要求快速響應(yīng)及非常高分辨率但定位不重要的應(yīng)用是非常理想的。

開環(huán)版本也適用于使用外部直線定位傳感器的應(yīng)用，外部傳感器如干涉儀，PSD（位置敏感傳感器），CCD片/成像處理系統(tǒng)，或操作員的眼手配合調(diào)節(jié)。

P18.X一維開環(huán)曲線

P18系列產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)方式

P18系列壓電納米定位臺(tái)可產(chǎn)生一維X向運(yùn)動(dòng)，也可組合形成XY二維或XYZ三維運(yùn)動(dòng)。位移行程從0μm至1.1mm范圍可選。

P18.X一維運(yùn)動(dòng)方式

P18高性能壓電促動(dòng)器保證使用壽命長(zhǎng)

通過(guò)高性能多層壓電促動(dòng)器可保證zui高的可靠性。芯明天促動(dòng)器外部的絕緣性使其可抵御環(huán)境的濕度及漏流風(fēng)險(xiǎn)。可靠性及壽命遠(yuǎn)優(yōu)于傳感促動(dòng)器。

P18系列1-3維掃描臺(tái)，多種行程可選

P18系列壓電掃描臺(tái)包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。

Δ  一維X向運(yùn)動(dòng)可選行程：

      280μm、370（或±185）μm、740μm、1110μm；

Δ  二維XY向運(yùn)動(dòng)可選行程：

      280μm、370（或±185）μm；

Δ  三維XYZ向運(yùn)動(dòng)行程：

      280μm；

典型應(yīng)用/Applications

P18系統(tǒng)產(chǎn)品部分參數(shù)

P18部分參數(shù)（尾綴S:閉環(huán)；尾綴K：開環(huán)）

應(yīng)用實(shí)例-納米光刻

在納米光刻實(shí)驗(yàn)中需要對(duì)鏡片進(jìn)行高速微納米級(jí)的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用于納米光刻，匹配芯明天E01.D3壓電控制器使用，可達(dá)到較好的位移、精度等性能。

推薦配套驅(qū)動(dòng)器與控制器

E01.D3（尺寸：280×170×360mm）

E70（尺寸：240×60×140mm）

E72.S3（尺寸：116×77.5×100mm）