壓電陶瓷在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用
在半導(dǎo)體領(lǐng)域，我公司提供各種基于壓電陶瓷的解決方案，包括用于減震的長(zhǎng)壽命壓電元件，用于定位的高性能大行程納米定位陶瓷。其他的精密運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品還包括用于快速光束穩(wěn)定/角度校正的壓電偏擺平臺(tái)，用于納米測(cè)量應(yīng)用的壓電柔性納米臺(tái)，用于掩模對(duì)準(zhǔn)的納米對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用于水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺(tái)。
應(yīng)用 | 解決方案 | 典型產(chǎn)品 | 產(chǎn)品展示 |
納米壓印 光盤測(cè)試 掩模與晶圓對(duì)準(zhǔn) 物鏡精密定位 光刻 | 多軸壓電系統(tǒng) 納米定位臺(tái) 壓電促動(dòng)器 納米聚焦系統(tǒng) | 定制六軸精密壓電定位臺(tái) P16壓電定位掃描臺(tái) P76/P72物鏡壓電定位器 |
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光學(xué)干涉 | 閉環(huán)壓電促動(dòng)器與柔性導(dǎo)向系統(tǒng) | 定制大行程物鏡掃描器 XP-63X高精度納米定位器 |  |
電纜接合 | 壓電彎片促動(dòng)器 | 壓電彎曲片 |
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光學(xué)測(cè)試/六軸定位 | 6軸并聯(lián)機(jī)構(gòu)微定位系統(tǒng) | N90 Hexapod 6軸定位系統(tǒng) 定制大行程Hexapod系統(tǒng) |
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大行程納米對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) | 鉸鏈放大壓電促動(dòng)器 1-6軸壓電柔性定位臺(tái) | P11.XYZ壓電定位臺(tái) 大推力壓電促動(dòng)器 |
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光束掃描與穩(wěn)定 光學(xué)路徑校正 | 快速壓電偏擺鏡系統(tǒng) | P34 微型壓電偏擺鏡 P33 高動(dòng)態(tài)壓電偏擺鏡 |
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主動(dòng)減震 | 壓電堆促動(dòng)器與陶瓷 | 大推力壓電促動(dòng)器 高壓壓電陶瓷 薄片型壓電傳感器/致動(dòng)器 |
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縱向晶圓定位 | 壓電Z/Tip/Tilt偏擺臺(tái) | P54壓電Z向及Z/Tip/Tilt定位平臺(tái) 定制六軸精密壓電納米定位臺(tái) |
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