XY 二維精密壓電顯微掃描臺
特點
• 二維XY向運(yùn)動
• 行程達(dá)100μm/軸
• 承載力達(dá)500g
• 超薄尺寸
• 可安裝真空吸盤
典型應(yīng)用
• 表面檢測
• 顯微成像
• 激光技術(shù)
• 半導(dǎo)體加工與測試
大通孔 快速聚焦
P15.XY100S/K65-B1壓電顯微掃描臺，大通孔設(shè)計主要是為了滿足各種樣品夾持結(jié)構(gòu)，如真空吸盤。
壓電陶瓷驅(qū)動具有快的響應(yīng)速度，大大提高了成像捕獲能力。對于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應(yīng)用，可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器，提供高分辨率、快速響應(yīng)的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設(shè)計避免了溫度的漂移，確保了納米級定位精度。
表面絕緣壓電陶瓷提供長使用壽命
壓電掃描臺采用高一致性、高穩(wěn)定性的表面絕緣壓電陶瓷，陶瓷抵抗外部環(huán)境的能力高且無漏電現(xiàn)象。
電壓位移曲線
線性度曲線
技術(shù)參數(shù)
型號：P15.XY100S/K65-B1
運(yùn)動自由度：XY
行程范圍（0~120V）：80μm/軸
行程范圍（0~150V）：100μm/軸
閉環(huán)傳感器：SGS
通孔尺寸：55×65mm
閉/開環(huán)分辨率：10/5nm
閉環(huán)線性度：0.15%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.05%F.S.
俯仰/滾動/偏航：≤10μrad
空載諧振頻率：490Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間：50/20ms
承載能力：500g
靜電容量：14.5μF
臺體材料：鋁
電纜長度：1.5m
17051647888
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