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P15.XY100S/K65-B1為二維XY向運(yùn)動壓電平臺，具有超薄的外形，可進(jìn)行每軸100μm范圍內(nèi)的納米級位置調(diào)整，P15.XY100S/K65-B1對于納米范圍的對準(zhǔn)、納米聚焦、測量等應(yīng)用是非常理想的。可選配橋式配置的閉環(huán)傳感器，消除溫度漂移，保證了納米范圍的定位穩(wěn)定性。同時，通過FEA優(yōu)化了直線度與平面度，結(jié)構(gòu)更緊湊、響應(yīng)速度更快。

特點

• 二維XY向運(yùn)動

• 行程達(dá)100μm/軸

• 承載力達(dá)500g

• 超薄尺寸

• 可安裝真空吸盤

典型應(yīng)用

• 表面檢測

• 顯微成像

• 激光技術(shù)

• 半導(dǎo)體加工與測試

大通孔 快速聚焦

P15.XY100S/K65-B1壓電顯微掃描臺，大通孔設(shè)計主要是為了滿足各種樣品夾持結(jié)構(gòu)，如真空吸盤。

壓電陶瓷驅(qū)動具有快的響應(yīng)速度，大大提高了成像捕獲能力。對于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應(yīng)用，可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器，提供高分辨率、快速響應(yīng)的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設(shè)計避免了溫度的漂移，確保了納米級定位精度。

表面絕緣壓電陶瓷提供長使用壽命

壓電掃描臺采用高一致性、高穩(wěn)定性的表面絕緣壓電陶瓷，陶瓷抵抗外部環(huán)境的能力高且無漏電現(xiàn)象。

電壓位移曲線

線性度曲線

技術(shù)參數(shù)

型號：P15.XY100S/K65-B1

運(yùn)動自由度：XY

行程范圍（0~120V）：80μm/軸

行程范圍（0~150V）：100μm/軸

閉環(huán)傳感器：SGS

通孔尺寸：55×65mm

閉/開環(huán)分辨率：10/5nm

閉環(huán)線性度：0.15%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.05%F.S.

俯仰/滾動/偏航：≤10μrad

空載諧振頻率：490Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間：50/20ms

承載能力：500g

靜電容量：14.5μF

臺體材料：鋁

電纜長度：1.5m