一維Z向小體積直線壓電平臺(tái)
壓電定位臺(tái)的控制精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)，壓電定位臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電定位臺(tái)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。
特點(diǎn)
• 一維Z向運(yùn)動(dòng)
• 位移可達(dá)100μm
• 體積小巧
• 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
• 真空版本可選
閉環(huán)版本定位精度高 響應(yīng)速度快
P11.Z100壓電納米定位臺(tái)可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本采用高精度傳感器對(duì)位置進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)反饋，配置芯明天E00/E01、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可實(shí)時(shí)對(duì)位移進(jìn)行精密調(diào)整，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位控制。
P11.Z100系列壓電納米定位臺(tái)的響應(yīng)速度快，配套E52系列壓電控制器可實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時(shí)間。
宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)
P11.Z100配套宏動(dòng)機(jī)構(gòu)，可組成毫米級(jí)行程，納米級(jí)分辨率的宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)平臺(tái)。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)：P11.Z100
運(yùn)動(dòng)自由度：Z
行程范圍（0~120V）：80μm
行程范圍（0~150V）：100μm
閉環(huán)傳感器類型：SGS
閉/開(kāi)環(huán)分辨：7/4nm
閉環(huán)線性度：0.05%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.02%F.S.
俯仰/偏航/滾動(dòng)：<10μrad
推/拉力：30/10N
運(yùn)動(dòng)方向剛度：0.3N/μm
空載諧振頻率：0.3kHz
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：10/0.8ms
承載能力：0.8kg
靜電容量：1.8μF
材質(zhì)：鋼、鋁
重量：100g
17051647888
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